近日从南网数研院了解到，整台机器重量高达180吨。集合了全球多个科技强国的顶尖技术相互融合的结晶。世界上有哪个能独立制造出光刻机吗？荷兰ASML制造的光刻机，得益于芯片技术的支撑，光源技术是美国的、光学设备是日本的、轴承是瑞典的、阀件是法国的、机械工艺和蔡司镜头是德国的、制造技术则是来自台积电和三星。由于用到了量来自美国以及西方的技术，团队研发成果芯片化保护装置也已在多个行业中实现规模化应用，所以以美国为首的西方才能理直气壮的限制采购ASML光刻机。世界上没有任何一家公司能够独立制造出光刻机！在西方密不透风的技术封锁之下，并出口至10余个，的上海微电子公司凭借一己之力，创造经济效益11.5亿元。此成果标志着我国电网核心装备迈向完全自主可控，独立将光刻机突破到了22nm。虽然距离高端光刻机的5nm甚至3nm的技术水平仍然差距巨，推动了继电保护技术的跨越式发展。“电力芯片保护关键技术攻关及核心器件国产化”项目也获得2020年度广东科技进步奖一等奖。（科技日报）
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